dsn-mfc质量流量计特性：

 气体流量控制器标准量程（n2）：0～5、10、20、30、50、100、200、300、500sccm； 0～1、2、3、5、10、20、30、50、100、200slm；

气体流量控制器准精度：±1％f.s；

重复精度：±0.2%f.s

响应时间：电特性 ＜10sec 气特性＜1～4sec

气体流量控制器线性：±（0.5～1）％f.s

工作压差范围：0.05～0.3mpa

气体流量控制器耐压：3，10mpa；

工作环境温度：5～45℃

气体流量控制器输入输出信号电压：0～+5.00v

气体流量控制器电源：+15v500ma、-15v500ma(输入阻抗大于100k，输出电流不大于3ma)

气体流量控制器电连接器：d14pin

气体流量控制器外形尺寸：mm

气体流量控制器重量：约1.0kg

气体流量控制器接口尺寸：swagelok:φ3.φ6.φ10.φ1/4〞.φ3/8〞....

vcr接头：φ1/4〞.φ3/8〞.φ1/8〞........