dsn-mfc气体质量流量控制器(mfc)

标准量程（n2）；0～1、2、3、5、10slp；
准精度：±1％f.s；   

重复精度：±0.2%f.s
响应时间：电特性 ＜10sec 气特性＜1～4sec
线性：±（0.5～1）％f.s  

工作压差范围：0.05～0.3mpa
耐压：3，10mpa；  

工作环境温度：5～65℃
输入输出信号电压：0～+5.00v(输入阻抗大于100k，输出电流不大于3ma)

电源：+15v500ma、-15v500ma

电连接器：d14pin
外形尺寸：mm
重量：约1.0kg
接口尺寸：swagelok :φ3.φ6.φ10.φ1/4〞....
                   vcr接头:φ1/4〞.φ1/8〞.....